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1.靈活的沉積能力
·
基于硅的沉積工藝-氧化物、氮化物、氧氮化物、非晶硅（a-Si）、碳化硅（SiC）
·研究與開發
·原型制作
·小批量生產-光子學、固態照明、MEMS和納米技術
·應用領域：層間絕緣層、鈍化層、封裝層、掩模層、抗反射層
2.性能價值
1.大尺寸手動裝載載物臺(406mm)
2.出色的潔凈度
3.高均勻性
4.高吞吐量
5.可靠的軟件
6.小巧的占地面積
7.具有成本效益
8.易于維護
9.采用行業頭部組件
3.經過驗證的解決方案
·延續了PTI 790/790+的設計理念
o手動裝載，無需負載鎖（可支持批次或單片晶圓）
o已安裝超過400套系統
o技術簡單，結構堅固 價格具有競爭力，品質可靠
小巧的占地面積，節省空間
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