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產品簡介：
FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY300模塊化厚度測繪系統集成了光學、電子和機械模塊，可兼用于對無圖形和圖形薄膜（例如微圖形表面、粗糙表面）進行精確測量 。
將晶圓放置在真空吸盤上（晶圓尺寸直徑≤300mm）并配備反射率標準件。 由功能強大的光學模塊執行測量，光斑尺寸小至幾微米。電動平臺提供XY方向 300 毫米的行程，在速度、精度和可重復性方面具有優秀的性能
FR-Scanner-AIO-Mic-XY300提供了:
o 實時反射率光譜測量
o 薄膜厚度、光學特性、非均勻性測量、厚度測繪
o 使用集成的、USB 連接的高質量彩色相機進行成像
o 測量參數廣泛統計數據
o 半自動圖案對準功能用于測量周期性圖形區域
o 不一樣的軟件功能，例如：Click2Move (螢幕點擊定位量測點)、比例尺
附件：
FR-AutoFocus：100mm 長線性軸，用于自動對焦，具有兩種操作模式：圖像對焦（對比度）/ 反射強度
Rotation Module：旋轉模塊電動平臺提供高的分辨率和精度
FR-FilterWheel：電動濾光輪模塊帶有可容納 12 個濾光片的插槽由計算機自動控制: 濾光片尺寸：直徑0.5英寸，最多6個過濾器（1英寸）
FR-AutoTurret：自動轉塔由計算機控制可容納 4 個物鏡：鏡頭切換速度約為 1.0-3.0 秒
Lenses：長工作距離 VIS/NIR 鏡頭: 5X, 10X, 20X, 40X, 50X
反射式 UV/NIR 鏡頭: 10X, 15X, 25X, 40X
Pump：低噪音真空泵，2.5L/min，真空度-60kPa.
Chucks：6 英吋光掩模卡盤6 英吋帶參考片區域 ，多晶圓卡盤（100-300 毫米和不規則形狀片），包括參考區域和暗區，用于自動基準
規格：
二維厚度圖：
3D厚度圖：
測量原理：
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